更新時(shí)間:2024-10-16
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數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)
測(cè)量質(zhì)量流量
無(wú)需溫度和壓力補(bǔ)償
結(jié)構(gòu)緊湊
精度高
工作壓力高
響應(yīng)時(shí)間快
重復(fù)性高
數(shù)字式質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
量程范圍:5SCCM-1500SLPM
精度:±1%滿量程
量程比:50:1
重復(fù)性:<0.2%讀數(shù)
操作溫度:-10~50℃
泄露率:< 2 x 10-9mbar l/s He
預(yù)熱時(shí)間:標(biāo)準(zhǔn)30min
壓力等級(jí):3MPa;10MPa
接液材質(zhì):316L
密封材質(zhì):標(biāo)準(zhǔn)Viton,可選EPDM、Kalrez
防護(hù)等級(jí):IP40
供電電源:+15~24VDC
電流:70mA
模擬量輸出信號(hào):0-5VDC;4-20mA;0-10VDC
數(shù)字輸出信號(hào):無(wú)
電氣接口:標(biāo)準(zhǔn)DB9 M
過(guò)程接口尺寸:可選
數(shù)字式質(zhì)量流量控制器訂貨參數(shù)
氣體種類(lèi)
量程范圍(標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下量程)
使用壓力
入口壓力
使用溫度
精度要求
輸出信號(hào)
過(guò)程接口尺寸
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