alicat氣體質(zhì)量流量控制器由質(zhì)量流量傳感器、熱式原件、質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大電路組成，它利用流動的流體傳遞熱量改變測量毛細管溫度分布的熱傳導分布效應而制成。

 

　　alicat氣體質(zhì)量流量控制器是采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值去驅動控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。

 

　　接通電源后，先預熱15分鐘，再通氣工作，以保證測量的準確度。氣體質(zhì)量流量控制器切忌液體和油污，不能使用在液體介質(zhì)中工作，只能使用在氣體工作介質(zhì)中。

 

　　且氣體要是潔凈、干燥的，沒有微粒和潮氣。否則，須在氣路中加裝過濾器、干燥器等，使之符合要求。要注意保持控制器的氣路潔凈，一旦被污染，將嚴重影響產(chǎn)品的準確度。

 

　　氣體質(zhì)量流量控制器準確可靠的測量和控制氣體質(zhì)量流量，測量和控制精度高、零飄小，測量和控制范圍寬，測量和控制的準確度不受環(huán)境溫度和外界壓力的影響，廣泛的應用于真空鍍膜設備、半導體工藝設備、化學化工實驗設備、分析儀器、冶金材料工程、能源動力等各領域。

 

　　控制器的泄露率可以做到1×10－8Pa.m3／s，并且氣體質(zhì)量流量控制器的密封材質(zhì)選用進口材質(zhì)氟橡膠，耐腐蝕抗氧化。所以對于氣體質(zhì)量流量控制器在甲烷氣體使用上面*符合要求，并且得到客戶較高的使用反饋。