質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，質(zhì)量流量控制器能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設(shè)定，質(zhì)量流量控制器自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置,是一個可以手動設(shè)定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。

　　一般而言，僅對流量進行計量或監(jiān)測時，用質(zhì)量流量計；需要對流量進行控制時，用質(zhì)量流量控制器。某些測量場合，用二者皆可，但質(zhì)量流量控制器更好用。例如，后面講到的測量小孔直徑﹑閥門泄漏量﹑工件(如毛細管)流通量等。質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以標(biāo)準(zhǔn)電信號輸出。這樣很容易實現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動計量﹑數(shù)據(jù)自動記錄﹑計算機管理等。質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。 對于多數(shù)流量測控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動將導(dǎo)致較大的誤差；對于質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計。

　　質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號輸出。這樣很容易實現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示、累積流量自動計量、數(shù)據(jù)自動記錄、計算機管理等。對質(zhì)量流量控制器而言，還可以實現(xiàn)流量的自動控制。質(zhì)量流量控制器能非常方便地與計算機連接, 進行自動控制。質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制、對于不同氣體的比例控制等特別有用。質(zhì)量流量控制器有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 質(zhì)量流量控制器可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；質(zhì)量流量控制器有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品小流量范圍可達0～5 sccm，大流量范圍可達0～200 slm?，F(xiàn)如今質(zhì)量流量控制器已得到了越來越廣泛的應(yīng)用，成為新一代新型儀表。